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如何检查涂层的结构
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涂层本身的性能，取决于涂层的结构和成分，常用的涂层微结构检查有，扫描电子显微镜SEM、投射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜、X射线衍射法、低能电子衍射和反射式高能电子衍射、红外吸收光谱和拉曼光谱。
常用分析测试仪器的主要特点及分辨本领
| 分析 技术 | 分析本领 | 工作环境 | 样品环境稳定 | 对样品的破坏程度 | 检测深度 |
| STM | 可直接观察原子 横向分辨率：0.1nm 纵向分辨率：0.01nm | 实际环境、大气、溶液、真空 | 低温、室温或高温 | 无 | 1-2原子层 |
| TEM | 横向点分辨率：0.3-0.5nm 横向晶格分辨率：0.1-0.2nm 纵向分辨率：无 | 高真空 | 低温、室温或高温 | 中 | 一般小于100nm |
| SEM | 采用二次电子成像，横向分辨率：1-3nm；纵向分辨率：低 | 高真空 | 低温、室温或高温 | 小 | 1μm |
| FIM | 横向分辨率：0.2nm 纵向分辨率：低 | 超高真空 | 30-80K | 大 | 原子厚度 |
| AES | 横向分辨率：6-10nm 纵向分辨率：0.5nm | 超高真空 | 室温或高温 | 大 | 2-3原子层 |