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镀膜工艺的真空是什么意思?

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相对真空压力-0.1MPa,实际应是-0.101325MPa,相当于绝对压力为0,这是不可能达到的,能达到的最高真空度大约为10^(-12)Pa。。如PVD真空镀膜里的真空,指的是低于一个标准大气压的气体状态,称为“真空”。常见真空镀膜的真空单位有:Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kg/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI,atm等。常用的真空单位的换算为:

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真空度的划分

在实用上便利起见,人们常把真空度粗划为几个区域

  • 低真空 10^5~10^2pa
  • 中真空 10^2~10^-1 pa
  • 高真空 10^-1~10^-5 pa
  • 超高真空 <10^-5 pa

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常用真空泵的工作压强

每种真空泵都有自己的工作压强。工具镀PVD真空镀膜设备通常需要两级真空泵串联实现高真空。机械泵和分子泵。

常用真空泵的工作压强