9大影响PVD涂层品质的关键因素

PVD涂层的性能由三个方面控制，基材、界面和涂层表面。基材需要提供高强度支撑、PVD涂层高硬度且化学惰性，界面要求结合力好。主要控制参数为：

1. 附着力高——高能离子体，以及基材表面彻底的清洗
2. 膜厚均匀——电磁场的控制，以及工件的旋转、距离等炉腔上挂控制
3. 涂层表面无液滴——保持和基材镀前状态
4. 无氢脆——特别是DLC类涂层，膜结构致密；
5. 涂层制程可控——膜化学成分和结构可控可重复；
6. 多层膜品质——镀膜的打底层、核心层及表面层的分层及控制
7. 低温工艺——保证结合力的同时，减少成本和对基材的影响
8. 真空镀膜设备的维保——定期清洗炉腔，并对各类工艺指标的校准
9. 靶材的纯度和颗粒度——保障膜的结构